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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02250377(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890070661 申请日期 1989.03.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 OTANI OSAMU
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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