发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02250317(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890073531 申请日期 1989.03.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ODA SUSUMU;MATSUMOTO MITSUHIRO;OSAKABE AKIHIKO;HIROSE KEIJI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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