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发明名称 TANKETSUSHOSEICHOHO
摘要
申请公布号 JPH0244798(B2) 申请公布日期 1990.10.05
申请号 JP19830152587 申请日期 1983.08.23
申请人 EI TEII ANDO TEII TEKUNOROJIIZU INC 发明人 FURANTSU TOOMASU GEIRINGU;ARIN ROBAATO UON NEIDA;MORISU SHENNSHII YANGU
分类号 C30B11/04;C30B11/00;C30B27/00;C30B29/40;C30B35/00;H01L21/208 主分类号 C30B11/04
代理机构 代理人
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