| 发明名称 |
APPARATUS FOR FEEDING CARRIER GAS TO SURFACE OF A ION SPUTTERING DISC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL274731(A1) |
申请公布日期 |
1990.03.19 |
| 申请号 |
PL19880274731 |
申请日期 |
1988.09.16 |
| 申请人 |
AKAD GORNICZO HUTNICZA |
发明人 |
JANKOWSKI HENRYK;MARSZALEK KONSTANTY |
| 分类号 |
C23C;C23C8/36;C23C14/56;(IPC1-7):C23C/ |
主分类号 |
C23C |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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