摘要 |
<p>Interdigitalwandler (1) auf Halbleitersubstratkristall (2) mit Wandlerkämmen (6, 7), deren Finger-Mittenabstände halb so gross sind, wie ein vergleichbarer Interdigitalwandler auf nur piezoelektrischem Substrat. Die mechanische Spannung wird durch Raumladungszonen erzeugt, welche an p-n-Übergängen oder Schottky-Kontakte entstehen.</p> |