发明名称 PRODUCTION OF SUPERCONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02248305(A) 申请公布日期 1990.10.04
申请号 JP19890068703 申请日期 1989.03.20
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 KONDO HIDEYUKI;SUGIHARA TADASHI;TAKESHITA TAKUO
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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