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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EINEM FELDEFFEKTTRANSISTOR AUS GALLIUMARSENID.
摘要
申请公布号 DE3579379(D1) 申请公布日期 1990.10.04
申请号 DE19853579379 申请日期 1985.06.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 TIWARI, SANDIP, OSSINING NEW YORK 10562, US
分类号 H01L21/225;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/04;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/324;H01L29/80 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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