| 摘要 |
<p>Dieser robuste, temperaturschock-unempfindliche und kostengünstig fertigbare Drucksensor (1) hat die Membran (2) und den Grundkörper (3), die Aluminiumoxid-Keramikteile, insbesondere mit einer Reinheit von 96 %, sind, unter Bildung der abgeschlossenen Kammer (4) in einem definierten Abstand (d) mittels der Zwischenschicht (5) parallel zueinander zusammengefügt sind und ebene, zur Bildung mindestens eines Kondensators mit mindestens einer Leitschicht (6, 7, 8) versehene Innenflächen aufweisen, die mittels Durchführungen (12, 13, 14) zur jeweiligen Rückseite von Membran bzw. Grundkörper hin elektrisch kontaktiert sind. Für die Leitschichten (6, 7, 8), die Durchführungen (12, 13, 14) und die Zwischenschicht (5) wird eine Leitpaste oder eine niederohmige Widerstandspaste mit einem Flächenwiderstand von höchstens 1 Ohm/Quadrat, die in Siebdrucktechnik aufgebracht sind, verwendet.</p> |
