发明名称 HIGH VACUUM EXHAUST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02248659(A) 申请公布日期 1990.10.04
申请号 JP19890068365 申请日期 1989.03.20
申请人 FUJITSU MIYAGI ELECTRON:KK 发明人 OKUYAMA TAKESHI
分类号 F04D19/04;F04B37/16 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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