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发明名称 MOLECULAR-BEAM CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02248391(A) 申请公布日期 1990.10.04
申请号 JP19890068932 申请日期 1989.03.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TSUBOKURA MITSUTAKA
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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