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发明名称
THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号
JPH02247372(A)
申请公布日期
1990.10.03
申请号
JP19890066916
申请日期
1989.03.17
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HYONO TADASHI
分类号
C23C14/04;C23C16/04;H01B13/00;H05K3/14;H05K3/16
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
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