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发明名称 FORMATION OF SIO2 FILM
摘要
申请公布号 JPH02248045(A) 申请公布日期 1990.10.03
申请号 JP19890067667 申请日期 1989.03.22
申请人 NEC CORP 发明人 OGURA ATSUSHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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