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发明名称
METHOD OF SELECTIVELY FORMING A CONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号
EP0305143(A3)
申请公布日期
1990.10.03
申请号
EP19880307789
申请日期
1988.08.23
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
OHBA, TAKAYUKI
分类号
H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/88;C23C16/42
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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