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发明名称
CRUCIBLE FOR EVAPORATION SOURCE AND THIN FILM FORMATION USING SAME
摘要
申请公布号
JPH02247374(A)
申请公布日期
1990.10.03
申请号
JP19890066106
申请日期
1989.03.20
申请人
HITACHI LTD
发明人
IWABORI YASUO
分类号
C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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