| 摘要 |
<p>Bei einem inkrementalen Meßsystem werden durch Abtastung einer Meßteilung (2) mit einer Abtasteinheit (3) periodische, in ihrer Grundform sinusförmige, analoge Meßsignale erzeugt und aus ihnen in einer Teilerstufe (6) unter elektronischer Unterteilung des Maßstabes verstellrichtungsabhängige, digitale Zählsignale für eine Auswertungseinrichtung (10, 11) abgeleitet, wobei jedes Zählsignal einer bestimmten Phasenlage der Meßsignale zugeordnet ist. Zur elektronischen Korrektur von Positionsfehlern werden zwischen den den Zählsignalen zugeordneten, in Phasenabstand der Unterteilungsstellen liegenden Signalpegeln weitere, um definierte Bruchteile des Teilungsschrittes versetzte Signalpegel bestimmt und die Auswertung der Messung wird nach einem Korrekturprogramm wahlweise auf die versetzten Signalpegel bezogen, so daß Korrekturen in nur Bruchteilen des Teilungsschrittes entsprechenden Korrekturschritten vorgenommen werden. Bei einem zur Durchführung des Verfahrens geeigneten Meßsystem mit einer Teilerschaltung (6) in der Teilerstufe und Trigger- und Impulsformerstufen zur Erzeugung der Zählsignale werden zwei oder mehrere Teilerschaltungen (6 bis 6c) mit untereinander gleichem Teilungsfaktor, aber gegeneinander bezüglich der analogen Meßsignale um Bruchteile des Teilungsschrittes phasenverschobener Lage der Triggerpegel vorgesehen, wobei jeweils eine der Teilerschaltungen nach einem Korrekturprogramm über einen Wählschalter (7) an die Auswertungseinrichtung (10) anschaltbar ist.</p> |
