DEVICE SIMULATOR,申请号JP19890069043-传众专利搜索

发明名称	DEVICE SIMULATOR
摘要
申请公布号	JPH02247584(A)	申请公布日期	1990.10.03
申请号	JP19890069043	申请日期	1989.03.20
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	ODA SHUICHI;YAMANO TAKESHI;IKEDA MIKIO;FUJINAGA MASATO;TATEISHI JUNJI;SHIRAHATA MASAYOSHI
分类号	G01R31/26;H01L21/82	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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