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经营范围
发明名称
Thin film forming apparatus
摘要
申请公布号
US4960071(A)
申请公布日期
1990.10.02
申请号
US19880250745
申请日期
1988.09.29
申请人
SUMITOMO METAL INDUSTRIES LTD.
发明人
AKAHORI, TAKASHI;NAKAYAMA, SATOSHI
分类号
C23C16/48;C23C16/54
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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