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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02246315(A)
申请公布日期
1990.10.02
申请号
JP19890068345
申请日期
1989.03.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAWANAKO SEIJI
分类号
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
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