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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02246353(A) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19890068531 申请日期 1989.03.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORI SEIICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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