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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02246339(A) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19890068349 申请日期 1989.03.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA SHUNJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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