发明名称 SOHOGATAMOSKOZOTAINOKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JPH0244154(B2) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19840005862 申请日期 1984.01.18
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 JENDAAJEEMUZU HYU
分类号 H01L21/265;H01L21/033;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址