发明名称 LARGE SCALE SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND DEFECT REMEDY THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02246099(A) 申请公布日期 1990.10.01
申请号 JP19890065836 申请日期 1989.03.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAJIMOTO TAKESHI;KOBAYASHI MITSUTERU;SATO KATSUYUKI;SHINPO YUTAKA
分类号 G11C29/00;G11C11/401;G11C11/408;G11C11/409;G11C11/411;G11C29/04;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10 主分类号 G11C29/00
代理机构 代理人
主权项
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