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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02246123(A)
申请公布日期
1990.10.01
申请号
JP19890067109
申请日期
1989.03.17
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMAMOTO TAMOTSU;SAITO TETSUO;UEDA TOSHIYUKI;KAWACHI TETSUYA;OZAKI KAZUO
分类号
H01L21/368
主分类号
H01L21/368
代理机构
代理人
主权项
地址
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