发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02246123(A) 申请公布日期 1990.10.01
申请号 JP19890067109 申请日期 1989.03.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO TAMOTSU;SAITO TETSUO;UEDA TOSHIYUKI;KAWACHI TETSUYA;OZAKI KAZUO
分类号 H01L21/368 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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