FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM,申请号JP19890067216-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH02246110(A)	申请公布日期	1990.10.01
申请号	JP19890067216	申请日期	1989.03.17
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	IGA RYUZO;SUGIURA HIDEO;YAMADA TAKESHI
分类号	H01L21/205;H01L21/203	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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