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发明名称 POSITIVE TYPE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH02245754(A) 申请公布日期 1990.10.01
申请号 JP19890067168 申请日期 1989.03.17
申请人 SUMITOMO CHEM CO LTD 发明人 NAKANISHI HIROTOSHI;KAMIYA YASUNORI;KUWANA KOJI;TOMIOKA ATSUSHI;HANAMOTO YUKIO;HANAWA RYOTARO
分类号 G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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