发明名称 TESTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02245682(A) 申请公布日期 1990.10.01
申请号 JP19890067348 申请日期 1989.03.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ENDO TORU;HIROCHI KATSUJI;TANIZAWA SATORU
分类号 G01R31/317;G01R31/28 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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