发明名称 THIN-FILM MAGNETIC DISK AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02244421(A) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890063631 申请日期 1989.03.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 YONEKAWA TAKAO;FURUSAWA KENJI;FUJITA SHIOTADA;MISHIMA SACHIKO
分类号 C23C14/16;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/708;G11B5/738;G11B5/82;G11B5/84;G11B5/85;G11B5/851 主分类号 C23C14/16
代理机构 代理人
主权项
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