| 摘要 |
<p>Inventia se refera la un senzor de umiditate si temperatura si la un procedeu de realizare a unui astfel de senzor. Senzorul, conform inventiei, este constituit dintr-un suport izolator, pe care sunt dispusi doi elelctrozi conductori cu coeficient cunsocut de variatie a rezistentei electrice cu temperatura, constituind o termorezistenta între care este depus stratul ce îsi modifica rezistenta cu umiditatea relativa, unul sau ambii electrozi constituind elementul sensibil la temperatura. Procedeul de realizare a senzorului prevede depunerea prin pulverizare catodica a unui strat conducator, de exemplu nichel, pe un suport ceramic, dupa care, prin fotoracordare, corodare cu fasciculul de electroni sau prin electroeroziune, este creata o retea de doi electrozi, fiecare în parte având o rezistenta initiala si un coeficient de variatie a rezistentei electrice cu temperatura, cunsocut, iar în final, depunerea, tot prin pulverizare catodica, deasupra retelei de electrozi a unui strat de oxid (de exemplu, fier) sensibil la umiditate.</p> |
