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发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02244627(A) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890064212 申请日期 1989.03.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KURIHARA HIDEO
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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