发明名称
摘要
申请公布号 JPH02120854(U) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890028514U 申请日期 1989.03.15
申请人 发明人
分类号 G01D5/36;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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