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发明名称
摘要
申请公布号
JPH02120854(U)
申请公布日期
1990.09.28
申请号
JP19890028514U
申请日期
1989.03.15
申请人
发明人
分类号
G01D5/36;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10
主分类号
G01D5/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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