发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02244737(A) 申请公布日期 1990.09.28
申请号 JP19890282823 申请日期 1989.10.30
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 DEBITSUDO EI BERU;ROBAATO EICHI HEIBUMAN
分类号 H01L21/74;H01L21/8249 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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