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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02243762(A)
申请公布日期
1990.09.27
申请号
JP19890063632
申请日期
1989.03.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
KATAOKA HIROYUKI;INABA HIROSHI;FURUSAWA KENJI;ABE KATSUO
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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