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发明名称
摘要
申请公布号
JPH02119755(U)
申请公布日期
1990.09.27
申请号
JP19890026872U
申请日期
1989.03.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;G06F17/50;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):G06F15/60;H01L21/320;H01L21/88
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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