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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0532473(B2)
申请公布日期
1993.05.17
申请号
JP19870229329
申请日期
1987.09.12
申请人
HANDOTAI ENERGY KENKYUSHO
发明人
YAMAZAKI SHUNPEI
分类号
H01L21/314;C23C16/50;C23C16/54;H01L21/205
主分类号
H01L21/314
代理机构
代理人
主权项
地址
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