发明名称
摘要
申请公布号 JPH0243203(B2) 申请公布日期 1990.09.27
申请号 JP19780116170 申请日期 1978.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;G05F3/16;G05F3/24 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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