PROCESS FOR FORMING ISOLATING TRENCHES IN INTEGRATED CIRCUIT DEVICES,申请号EP19840114122-传众专利搜索

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发明名称	PROCESS FOR FORMING ISOLATING TRENCHES IN INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号	EP0146789(B1)	申请公布日期	1990.09.26
申请号	EP19840114122	申请日期	1984.11.23
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	GOTH, GEORGE RICHARD;HANSEN, THOMAS ADRIAN;VILLETTO, ROBERT THOMAS, JR.
分类号	H01L29/78;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/76;H01L21/762	主分类号	H01L29/78
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