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发明名称
CONTROL DEVICE FOR LARGE-SIZED VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02241992(A)
申请公布日期
1990.09.26
申请号
JP19890060767
申请日期
1989.03.15
申请人
SHINKO ELECTRIC CO LTD
发明人
KONO HITOSHI;SEKO KAZUYA;OCHIAI MITSUTOSHI;NAKAI YASUHIRO
分类号
F04B49/06;F04B37/16
主分类号
F04B49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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