发明名称 CONTROL DEVICE FOR LARGE-SIZED VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02241992(A) 申请公布日期 1990.09.26
申请号 JP19890060767 申请日期 1989.03.15
申请人 SHINKO ELECTRIC CO LTD 发明人 KONO HITOSHI;SEKO KAZUYA;OCHIAI MITSUTOSHI;NAKAI YASUHIRO
分类号 F04B49/06;F04B37/16 主分类号 F04B49/06
代理机构 代理人
主权项
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