| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF MIXED OXIDE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0348496(A4) |
申请公布日期 |
1990.09.26 |
| 申请号 |
EP19890901981 |
申请日期 |
1988.12.16 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF COLORADO FOUNDATION, INC. |
发明人 |
SIEVERS, ROBERT, E. |
| 分类号 |
G01N21/76;B05D3/10;C01G1/00;C01G3/00;C23C8/02;C23C8/08;C23C8/12;C23C16/40;C23C16/56;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):B05D5/12;C23C8/06 |
主分类号 |
G01N21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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