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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING ORGANIC AND/OR INORGANIC FILMS BY DRY PLASMA ASHING
摘要
申请公布号 EP0305946(A3) 申请公布日期 1990.09.26
申请号 EP19880114049 申请日期 1988.08.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HAYASKA, NOBUO;ARIKADA, TSUNETOSHI;OKANO, HARUO;HORIOKA, KEIJI
分类号 G03F7/42;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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