| 发明名称 |
EPITAXIAL GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0320971(A3) |
申请公布日期 |
1990.09.26 |
| 申请号 |
EP19880121114 |
申请日期 |
1988.12.16 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SAITO, YOSHIHIKO;MATSUSHITA, YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/02;C30B25/10;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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