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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INHOMOGENEN SCHICHT
摘要
申请公布号
DD282926(A5)
申请公布日期
1990.09.26
申请号
DD19890328145
申请日期
1989.05.02
申请人
VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD
发明人
EHRLICH,ULRIKE,DD;GERLACH,GOTTFRIED,DD;SOLGER,NORBERT,DD
分类号
C03C17/00;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C03C17/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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