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经营范围
发明名称
SPINNER
摘要
申请公布号
JPH02241571(A)
申请公布日期
1990.09.26
申请号
JP19890061525
申请日期
1989.03.14
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OZAWA TAKASHI
分类号
B05C11/08;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
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