| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02240972(A) |
申请公布日期 |
1990.09.25 |
| 申请号 |
JP19890062401 |
申请日期 |
1989.03.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHIGAMI NOBORU;NISHITANI MIKIHIKO;HISAMOTO KAZUE |
| 分类号 |
H01L21/36;H01L21/336;H01L21/34;H01L21/477;H01L29/78;H01L29/786;H01L31/0248;H01L31/0264 |
主分类号 |
H01L21/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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