MANUFACTURE OF INSULATING FILM FOR ISOLATION OF ELEMENT IN SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19890063224-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF INSULATING FILM FOR ISOLATION OF ELEMENT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02240927(A)	申请公布日期	1990.09.25
申请号	JP19890063224	申请日期	1989.03.14
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	KAMISAKA WATARU
分类号	H01L21/76;H01L21/316	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
主权项
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