Method for forming a thin film,申请号US19880238114-传众专利搜索

发明名称	Method for forming a thin film
摘要
申请公布号	US4959242(A)	申请公布日期	1990.09.25
申请号	US19880238114	申请日期	1988.08.30
申请人	MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA	发明人	ITOH, HIROKI
分类号	H01L49/02;C23C14/00;C23C14/22;C30B25/02	主分类号	H01L49/02
代理机构		代理人
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