发明名称
摘要
申请公布号 JPH02118758(U) 申请公布日期 1990.09.25
申请号 JP19890025170U 申请日期 1989.03.07
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;C30B29/42;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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