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发明名称 PROCESS FOR OBTAINING NEGATIVE IMAGES FROM POSITIVE PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 HK71490(A) 申请公布日期 1990.09.21
申请号 HK19900000714 申请日期 1990.09.13
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 SPAK, MARK A.;DURHAM, DANA;MAMMATO, DONALD;JAIN, SANGYA
分类号 G03C1/485;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08;G03F7/26 主分类号 G03C1/485
代理机构 代理人
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