| 发明名称 |
CRYSTAL GROWTH METHOD AND DEVICE TO BE USED THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02239180(A) |
申请公布日期 |
1990.09.21 |
| 申请号 |
JP19890057085 |
申请日期 |
1989.03.09 |
| 申请人 |
UCHU KANKYO RIYOU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
ARASE YOSHITOMO;IKEGAMI YUJI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/40;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
