发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02239674(A) 申请公布日期 1990.09.21
申请号 JP19890061544 申请日期 1989.03.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WADA OSAMU
分类号 H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
地址