| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR GROWTH BY PHOTOEXCITATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02239184(A) |
申请公布日期 |
1990.09.21 |
| 申请号 |
JP19890061813 |
申请日期 |
1989.03.14 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUJII SATOSHI;FUJITA YUKIHISA;INAI TORU |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/18;C23C16/48;C30B29/48 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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